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簡要描述：KLA iNano®納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準確、靈活、用戶友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。大范圍的力和位移動態(tài)測量范圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重復的測試。 模塊選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。
產(chǎn)品型號：
所屬分類：納米壓痕儀
更新時間：2025-03-10
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
KLA iNano®納米壓痕儀采用了用于執(zhí)行納米壓痕和通用納米機械測試的InForce 50作動器。InForce 50的50 mN力和50µm位移范圍允許該系統(tǒng)執(zhí)行廣泛的測試。InView 軟件包靈活、現(xiàn)代，讓用戶輕松進行納米尺度測試。KLA iNano®納米壓痕儀是一個緊湊的平臺，內(nèi)置有高速InQuest控制器和隔振機架?？梢詼y試各種材料和裝置，包括金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物物質(zhì)和凝膠。
InForce 50作動器用于電容位移測量和電磁力驅(qū)動，具有可互換的壓頭
軟件集成壓頭校準系統(tǒng)，精確的壓頭校準
Inquest高速電子控制器，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20µs時間常數(shù)
XY移動系統(tǒng)帶有易于安裝的磁性樣品架
具有數(shù)字變焦功能的集成顯微鏡，可獲得精確的壓痕定位
ISO 14577和標準化測試方法
包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、 InView University 在線培訓和InView移動應用程序的InView軟件包
硬度和模量測量(Oliver-Pharr)
材料力學性能分布圖
ISO 14577硬度測試
聚合物損耗因子
高溫納米壓痕測試
大學、研究實驗室和研究所
半導體和封裝行業(yè)
聚合物和塑料
MEMS：微機電系統(tǒng)/納米尺度通用測試
陶瓷和玻璃
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