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薄膜厚度測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于制造業(yè)、科研機(jī)構(gòu)以及質(zhì)檢部門(mén)等。在半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、包裝印刷、電子顯示等行業(yè)都有重要應(yīng)用，對(duì)于保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能起著關(guān)鍵作用。能夠在短時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量過(guò)程，提高生產(chǎn)效率和工作效率，尤其適用于大規(guī)模生產(chǎn)和在線(xiàn)檢測(cè)的...

薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)較高的測(cè)量精度，可準(zhǔn)確到兆帕(MPa)甚至更高量級(jí)。無(wú)論是微弱的拉應(yīng)力還是壓應(yīng)力，都能準(zhǔn)確捕捉。這得益于傳感器技術(shù)與精密的算法處理，如高精度的位移傳感器能分辨出微小的基底形變，光學(xué)干涉儀可準(zhǔn)確感知光程差的細(xì)微變化，從...

Tergeo等離子清洗機(jī)可以對(duì)多種材料進(jìn)行清洗，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等。無(wú)論是柔軟的聚合物材料還是堅(jiān)硬的金屬材料，等離子體都可以根據(jù)其表面特性進(jìn)行調(diào)整清洗參數(shù)，以達(dá)到良好的清洗效果。例如，對(duì)于一些具有復(fù)雜形狀的醫(yī)療器械，如內(nèi)窺鏡等，等...

微波去膠機(jī)，特別是微波等離子去膠機(jī)，在半導(dǎo)體加工、薄膜工藝等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，根據(jù)不同的光刻膠類(lèi)型、基底材料和工藝要求，準(zhǔn)確調(diào)整微波功率、真空度、氣體流量等參數(shù)，以確保去膠效果和基底不受損傷；微波具有一定的輻射危害，操作人員需采取相應(yīng)的防護(hù)措施...

在實(shí)際的工藝操作中，旋涂顯影系統(tǒng)的操作流程嚴(yán)謹(jǐn)且規(guī)范，將經(jīng)過(guò)預(yù)處理的硅片放置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，并通過(guò)真空吸附或其他固定裝置確保硅片在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不會(huì)發(fā)生位移或晃動(dòng)。然后，根據(jù)工藝要求選擇合適的光刻膠，并利用膠液分配裝置將光刻膠施加到硅片表面。接著，...

薄膜沉積系統(tǒng)作為現(xiàn)代材料科學(xué)與微納加工技術(shù)領(lǐng)域中的核心設(shè)備之一，其發(fā)展與應(yīng)用深刻影響著半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、能源材料開(kāi)發(fā)以及生物醫(yī)學(xué)工程等多個(gè)前沿領(lǐng)域。該系統(tǒng)通過(guò)精確控制原子或分子在基底表面的沉積過(guò)程，形成具有特定功能特性的薄膜結(jié)構(gòu)，為器件...

太陽(yáng)能電池大多由單晶硅或多晶硅制成，將晶硅錠加工成太陽(yáng)能電池需要一系列制造工藝，包括晶圓切割、制絨、酸洗、擴(kuò)散、刻蝕、減反膜沉積、激光開(kāi)槽、接觸印刷等。下圖為工藝流程中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)。太陽(yáng)能電池工藝流程中的量測(cè)節(jié)點(diǎn),包括金剛石切割線(xiàn)的表面形貌、...

在半導(dǎo)體芯片等器件工藝中，后道制程中的金屬連接是經(jīng)過(guò)金屬薄膜沉積，圖形化和蝕刻工藝，最后在器件元件之間得到導(dǎo)電連接。對(duì)于半導(dǎo)體、PCB、平板顯示器、太陽(yáng)能應(yīng)用和研發(fā)等不同行業(yè)，對(duì)各種金屬層（包括導(dǎo)電薄膜、粘附層和其他導(dǎo)電層）都有各種各樣的電...

電池的應(yīng)用極為廣泛，其通常以電化學(xué)反應(yīng)池的形式為各類(lèi)裝置供電。電池內(nèi)在失效和劣化對(duì)電池性能有重大影響，而其機(jī)制依賴(lài)于不同組成材料之間的電化學(xué)反應(yīng)和納米力學(xué)相互作用。下一代電池要求高能量密度和高充放電倍率（C-rate，充放電速率的一種衡量標(biāo)...

隨著器件尺寸不斷縮小，表面翹曲度可能引發(fā)一些問(wèn)題從而影響器件的正常功能。在半導(dǎo)體中，薄膜應(yīng)力對(duì)半導(dǎo)體能帶隙偏移、超導(dǎo)轉(zhuǎn)變溫度和磁各向異性等電子特性有直接影響。在器件制造過(guò)程中，監(jiān)控因薄膜沉積而產(chǎn)生的應(yīng)力至關(guān)重要。在薄膜層面，應(yīng)力通常會(huì)影響薄...