VSS-450-300 臺式真空燒結爐

簡要描述：VSS-450-300 臺式真空燒結爐
適用基板尺寸最大為 300 毫米 ×300 毫米 ×70 毫米。升溫速率最高達 150 開爾文 / 分鐘。真空度可達 10?³ 百帕（可選 10??百帕）。

產品型號：

所屬分類：VSS-450-300 臺式真空燒結爐

更新時間：2025-07-11

廠商性質：生產廠家

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詳情介紹

VSS-450-300 臺式真空燒結爐

腔室：
腔室尺寸：350毫米 x 350毫米 x 75毫米（可選配增高至120毫米，帶有直徑65毫米的圓形觀察窗口）
可選：增加開口高度：200毫米至300毫米
腔室壁：鋁材打磨，易于清潔（可選不銹鋼）

填料：
蓋子：垂直打開和關閉（頂部填料器）
可直接或遠程控制進行自動應用（SPS、機器人等）
升溫速率：高達150K/分鐘
降溫速率：高達120K/分鐘

加熱：
底部加熱：2組12個交叉式燈管，總功率18千瓦
頂部加熱：根據要求提供

冷卻：
腔室：通過310毫米 x 310毫米的水冷石墨板進行冷卻
過程控制：
控制：帶有7英寸觸摸屏的SIMATIC SPS
軟件：過程控制、編程、記錄和過程文檔
可存儲50個程序，每個程序具有50個步驟

工藝氣體：
標配1個質量流量控制器，5 nlm（標準升/分鐘）
可選：最多4條氣體線路

真空（可選）：
MPC（化學耐久性膜泵）：10 hPa。通過壓力表監測。
RVP（旋轉葉片泵）：10exp.-3 hPa。真空傳感器可達10exp.-3 mbar

連接：
電源：1 x [CEE 3 x 32 A / 3~ +N+ PE, 230 V]。背面。
真空連接器：KF 25
排氣口：KF16。后側。
氣體線路：4毫米外徑Swagelok壓縮接頭

尺寸/重量：
尺寸：540毫米 x 690毫米 x 890毫米（寬 x 深 x 高）
重量：約140千克

VSS-450-300 臺式真空燒結爐

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VSS - 300 真空工藝烘箱
VSS - 300 回流焊系統是一款出色的設備，適用于多種焊接工藝，可處理直徑達 300 毫米的晶圓，或 300 毫米 ×300 毫米、高度 75 毫米的基板（選配件：EH 型，高度 120 毫米）。
應用示例如下：
可作為實驗室爐，供各類研發人員實施和研究新工藝、進行原型研究、環境研究，以及用于小批量試產或量產。
工藝氣體
VSS - 300 可使用標準工藝氣體，如氮氣、氧氣、形成氣（還原氣）。腔室密封，易于清潔。
氣流控制
默認配置一路帶質量流量控制器（MFC ）的氮氣流路（5 標準升 / 分鐘），還可增配三路氣路（選配件：MFC ）。
真空度
系統可實現真空度達 10?3 百帕（可選配至 10?? 百帕）。
加熱
可達到的最高溫度為 450°C（選配件：650°C ）。關鍵特點是精準控制的快速升溫（150 開爾文 / 分鐘）以及出色的降溫速率（取決于溫度和負載）。
溫度分布
VSS - 300 能實現的溫度分布與均勻性。可選配在石英底板上插入石墨基座。
編程控制
VSS - 300 由 SPS SIMATIC® 控制器控制。7 英寸觸摸屏讓工藝編程與控制十分便捷。最多可存儲 50 個程序，每個程序含 50 個步驟（可從外部數據存儲設備無限制地上傳、下載程序）。
工藝控制
軟件可對以下參數進行持續監測、讀取和分析：