研發和使用 MOSFET、IGBT、二極管及其他大功率器件時,需要進行全面的器件級表征,包括擊穿電壓、通態電流和電容等參數的測量。吉時利(Keithley)的大功率參數曲線跟蹤配置系列可支持全類型器件和各類測試參數的表征需求。
吉時利的參數曲線跟蹤配置包含表征工程師快速搭建完整測試系統所需的全部必要硬件。需單獨訂購的 ACS 基礎版軟件可實現全面的器件表征功能,既包括用于快速檢測擊穿電壓等基本器件參數的實時跟蹤模式,也包括用于提取精確器件參數的全參數模式。
ACS 基礎版軟件超越了傳統曲線跟蹤儀的界面限制,提供了豐富的示例庫。更重要的是,用戶能夠掌控所有測試資源,從而創建出比以往曲線跟蹤儀所能實現的更高級的測試。
核心特點
?完整解決方案經專業設計,實現性價比
?支持現場升級與重新配置 —— 可將參數曲線跟蹤儀(PCT)轉換為可靠性測試設備或晶圓分選測試儀
?可配置功率范圍:
– 電壓:200V 至 3kV
– 電流:1A 至 100A
?寬動態范圍:
– 電壓:從微伏(µV)到千伏(kV)
– 電流:從飛安(fA)到 100A
?全面的電容 – 電壓(C-V)測試能力:
– 電容:從飛法(fF)到微法(µF)
– 支持 2 端子、3 端子和 4 端子器件
– 直流偏置最高達 3kV
?高性能測試夾具,支持多種封裝類型
?探針臺接口兼容多數探針類型,包括高壓三軸(HV triax)、超高壓同軸(SHV coax)、標準三軸及其他類型
吉時利的參數曲線跟蹤配置是完整的表征工具,包含功率器件表征所需的關鍵要素。測量通道由吉時利 SourceMeter® 源測量單元(SMU)儀器以及可選的多頻電容 – 電壓(C-V)儀組成。這些儀器的動態范圍和精度遠超傳統曲線跟蹤儀。
完整的系統配件
高壓電容 – 電壓(C-V)
測試器件電容隨直流電壓的變化正變得越來越重要。吉時利提供 PCT-CVU 多頻電容 – 電壓儀。當與可選的 200V 或 3kV 偏置 T 型接頭結合使用時,可對二端、三端或四端器件進行電容 – 電壓測量。可測量的電容范圍為飛法(fF)至 100 納法(nF),測試頻率為 10kHz 至 2MHz。ACS 基礎版軟件提供 60 多種預設的電容 – 電壓測試,包括 MOSFET 的輸入電容(Ciss)、輸出電容(Coss)、反向傳輸電容(Crss)、柵漏電容(Cgd)、柵源電容(Cgs)、漏源電容(Cds),以及針對雙極結型晶體管(BJT)、二極管等其他器件的全套測試。一如既往,用戶可在 ACS 基礎版中自主開發專屬的測試算法。