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SPIN450x 高質量基底旋涂機

簡要描述:SPIN450x 高質量基底旋涂機是優(yōu)良的系統(tǒng),可提供精確且可重復的過程控制。空氣動力學高效的腔體提高了均勻性,而天然聚丙烯工藝腔體確保了無污染且易于清潔的工藝區(qū)域。所有設備都具備可編程的順時針和逆時針旋轉以及積液功能。

產(chǎn)品型號:

所屬分類:SPIN450x 高質量基底旋涂機

更新時間:2025-08-15

廠商性質:生產(chǎn)廠家

詳情介紹

SPIN450x 高質量基底旋涂機



產(chǎn)品說明


POLOS 450 Advanced 單基片旋轉處理機,臺式版本,配備 NPP 外殼、旋轉杯、手動化學品分配裝置及重型電機。空氣動力學高效腔體可提高均勻性,而天然聚丙烯或不銹鋼工藝腔室能確保工藝區(qū)域無污染且易于清潔。所有設備均具備可編程的順時針和逆時針旋轉功能以及積液功能。


適用于干燥、沖洗 / 清潔及自動涂布工藝。


規(guī)格參數(shù):


  • 可處理最大基片尺寸:圓形基片直徑 500 毫米,方形基片 350×350 毫米

  • 材質:天然聚丙烯(高等級 NPP,設備主體及所有接觸液體的表面)

  • 配置:手動化學品分配裝置、2 條自動靜態(tài)分配管路

  • 蓋體:氣動開啟與關閉

  • 吸盤配件:含 1 個真空吸盤,可適配最多 3 種晶圓尺寸

  • 最大轉速:1500 轉 / 分鐘

  • 化學品分配方式:可自動順序分配或并行分配

  • 透明蓋體:中心周圍配備 6 組噴射器組件(每組均可獨立編程)

  • 旋轉功能:順時針及逆時針積液旋轉

  • 顯示屏:(可拆卸)彩色觸摸屏,帶可自定義圖標

  • 排水接口:標準 1 英寸接口

  • 電機控制器:精密數(shù)字控制器(最大 1500 轉 / 分鐘)

  • 泵組模塊:獨立模塊,內(nèi)置 6 個蠕動泵


SPIN450x 高質量基底旋涂機





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