SPIN450x 高質量基底旋涂機
簡要描述:SPIN450x 高質量基底旋涂機是優(yōu)良的系統(tǒng),可提供精確且可重復的過程控制。空氣動力學高效的腔體提高了均勻性,而天然聚丙烯工藝腔體確保了無污染且易于清潔的工藝區(qū)域。所有設備都具備可編程的順時針和逆時針旋轉以及積液功能。
產(chǎn)品型號:
所屬分類:SPIN450x 高質量基底旋涂機
更新時間:2025-08-15
廠商性質:生產(chǎn)廠家
詳情介紹

產(chǎn)品說明
POLOS 450 Advanced 單基片旋轉處理機,臺式版本,配備 NPP 外殼、旋轉杯、手動化學品分配裝置及重型電機。空氣動力學高效腔體可提高均勻性,而天然聚丙烯或不銹鋼工藝腔室能確保工藝區(qū)域無污染且易于清潔。所有設備均具備可編程的順時針和逆時針旋轉功能以及積液功能。
適用于干燥、沖洗 / 清潔及自動涂布工藝。
規(guī)格參數(shù):
可處理最大基片尺寸:圓形基片直徑 500 毫米,方形基片 350×350 毫米
材質:天然聚丙烯(高等級 NPP,設備主體及所有接觸液體的表面)
配置:手動化學品分配裝置、2 條自動靜態(tài)分配管路
蓋體:氣動開啟與關閉
吸盤配件:含 1 個真空吸盤,可適配最多 3 種晶圓尺寸
最大轉速:1500 轉 / 分鐘
化學品分配方式:可自動順序分配或并行分配
透明蓋體:中心周圍配備 6 組噴射器組件(每組均可獨立編程)
旋轉功能:順時針及逆時針積液旋轉
顯示屏:(可拆卸)彩色觸摸屏,帶可自定義圖標
排水接口:標準 1 英寸接口
電機控制器:精密數(shù)字控制器(最大 1500 轉 / 分鐘)
泵組模塊:獨立模塊,內(nèi)置 6 個蠕動泵
