KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)可以檢測不透明、半透明和透明晶圓（包括玻璃、單面拋光藍(lán)寶石、雙面拋光藍(lán)寶石）的表面缺陷和微粒；滑移線；砷化鎵和磷化銦的凹坑和凸起；表面haze map；以及鉭酸鋰、鈮酸鋰和其他先進(jìn)材料的缺陷。KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)用于化合物半導(dǎo)體工藝控制（晶圓清潔、外延前后）。其先進(jìn)的多通道設(shè)計(jì)提供了比單通道技術(shù)更高的靈敏度。CS20R配置的光學(xué)器件經(jīng)過優(yōu)化，可用于檢測化合物半導(dǎo)體材料，包括光敏薄膜。

功能

• 檢測直徑達(dá)200毫米不透明、半透明和透明化合物半導(dǎo)體材料上的缺陷

• 手動模式支持掃描不規(guī)則晶圓

  支持各種晶圓厚度

• 適用于微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污等宏觀缺陷

應(yīng)用案例

• 襯底質(zhì)量控制

• 襯底供應(yīng)商對比

• 入廠晶圓質(zhì)量控制(IQC)

• 出廠晶圓質(zhì)量控制(OQC)

• CMP（化學(xué)機(jī)械拋光工藝）/拋光工藝控制

• 晶圓清潔工藝控制

• 外延工藝控制

• 襯底與外延缺陷關(guān)聯(lián)

• 外延反應(yīng)器供應(yīng)商的對比

• 工藝機(jī)臺監(jiān)控

行業(yè)

• 包括垂直腔面發(fā)射激光器在內(nèi)的光子學(xué)

• LED

• 通信（5G、激光雷達(dá)、傳感器）

• 其他化合物半導(dǎo)體器件

選項(xiàng)

• SECS-GEM

• 信號燈塔

• 金剛石劃線

• 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

• 離線軟件

• 光學(xué)字符識別(OCR)

• CS20R配置用于檢測光敏薄膜