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KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統

簡要描述:KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統專為微小視野及樣品設計,支持快速、簡易的厚度測量,適用于聚對二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動校正功能,可自動調節靈敏度并簡化設置過程。系統可通過USB供電,并兼容多種Windows操作系統。

產品型號:

所屬分類:薄膜厚度測量儀

更新時間:2025-03-10

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統專門為了微小視野及微小樣品測量設計, 任何人從一線操作到研&發人員都可以此簡易USB供電系統在數秒鐘內測量如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度.

我們KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統自動校正功能大幅縮短測量設置並可自動調節儀器的靈敏度, 使用免手持測量模式時, 只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺上測量樣品 , 此時該系統已具備可測量數百種膜層所必要的一切設置不管膜層是否在透明或不透明基底上.

快速厚度測量

可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易, 軟件內建所有常見的電介質和半導體層(包括C,N和HT型聚對二甲苯)的光學常數(n和k),厚度結果會及時的以直覺的測量結果顯示對于進階使用者,可以進一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運行Windows XP到 Windows8 64位作業系統的計算機上運行, USB電纜則提供電源和通信功能.

包含的內容:

  • USB供電之光譜儀/光源裝置

  • FILMeasure 8 軟件

  • 內置樣品平臺

  • BK7 參考材料

  • 四萬小時光源壽命

型號規格

型號厚度范圍
波長范圍

F3-CS

15nm-70μm
380-1050nm
F3-CS-UV3nm-40μm190-1100nm
F3-CS-NIR100nm-250μm
950-1700nm




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