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Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機

簡要描述:Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機由OAI設計與制造
在半導體行業,OAI 擁有 40 余年產品研發和制造經驗,以專為研發及半自動生產設計的光刻設備,應對動態市場日益增長的挑戰。800E 型基于經實踐驗證的 OAI 模塊化平臺打造,是一套增強型、高性能、高分辨率光刻系統,在該價格段性能好。對準器搭載 OAI 優良光束光學技術,均勻性佳。

產品型號:

所屬分類:Model 800E 紫外掩膜曝光機

更新時間:2025-07-04

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機

Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機

在半導體行業,OAI 擁有 40 余年產品研發和制造經驗,以專為研發及半自動生產設計的光刻設備,應對動態市場日益增長的挑戰。800E 型基于經實踐驗證的 OAI 模塊化平臺打造,是一套增強型、高性能、高分辨率光刻系統,在該價格段性價比高。對準器搭載 OAI 優良光束光學技術,良好均勻性。借助 OAI 精密光刻模塊可實現升級,800E 型成為實驗室或現場適用的多功能工具。它采用 Windows 10 控制及配方存儲功能,還配備操縱桿控制的對準和光學載臺,可配置非接觸式三點楔效應校正及自動對準功能。這些特性組合常見于更昂貴的掩模對準器,而 800E 型以實惠價格即可提供 。


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標準正面特性

  • 配備雙 100 萬像素分辨率的千兆以太網(GIGE)CCD 相機

  • 可處理最大 8 英寸見方的基板,掩模最大為 9 英寸 ×9 英寸

  • 由帶配方存儲功能的 Windows 電腦控制

  • 電動操縱桿用于對準和定位

  • 曝光模式:真空、硬接觸、軟接觸和接近式

  • 自動楔效應補償

標準背面特性

  • 包含上述所有正面特性,另加:

  • 額外配備 2 個相機(共 4 個)

  • 數字變焦功能

  • 電動背面光學聚焦

標準背面特性

半自動正面對準背面對準優良光束光學系統2相機和4相機版本多種可選配置

Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機


Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機規格參數

Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機







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