設計

外殼和排水設計便于在桌面式和內置式機型之間切換。模塊化設計使用戶能夠通過多種不同的配件升級設備，從而簡化分配操作和整體處理流程。

液體過濾捕集器

SPINx 系列配備液體過濾捕集器，用于保護旋涂機的關鍵部件。它能將通過處理腔室或真空卡盤進入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集在液體容器中。通過旋涂機外殼上的開口可查看該容器，便于維護。

自動蓋子

可通過用戶界面或腳踏板（非常適合手套箱環境使用）自動打開和關閉蓋子。此外，還可以在工藝配方的最后一步自動打開蓋子。

電機回零位置

新款 SPINx 系列能夠設定電機回零位置，便于集成到機器人控制 / 自動化環境中。

標準配件：

• 適用于 4-6 英寸晶圓的真空卡盤

• 適用于 10 毫米及更大尺寸碎片的碎片適配器

適用工藝：

• 涂層

• 清潔

• 漂洗 / 干燥

• 顯影

• 蝕刻

• PDMI 及其他工藝

硬件規格：

• 液體過濾捕集器

• 自動蓋子（高級版還可通過腳踏板控制）

• 可編程電機回零位置

• 用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架

• 用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器

• 大尺寸（可拆卸）觸摸顯示屏

• 用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件更新的 USB 端口

• 驅動單元規格：間接式無刷驅動單元，最高 12,000 轉 / 分；高加速度和精度，1-30,000 轉 / 分；順時針 / 逆時針旋轉和 puddle 模式；可在桌面式和內置式機型之間切換的設計