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SPIN200x 高質(zhì)量基底旋涂機(jī)

簡(jiǎn)要描述:SPIN200x 高質(zhì)量基底旋涂機(jī)可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)且可重復(fù)的工藝控制。其材質(zhì)為天然聚丙烯(NPP)或具有耐化學(xué)性的聚四氟乙烯(PTFE)。這款經(jīng)過(guò)充分驗(yàn)證的機(jī)型推出了新版本,分為標(biāo)準(zhǔn)版和高級(jí)版。它非常適合處理各種基底,包括直徑最大200毫米的圓形基底或尺寸為150×150毫米的方形樣品。

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:SPIN200x 高質(zhì)量基底旋涂機(jī)

更新時(shí)間:2025-08-15

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

SPIN200x 高質(zhì)量基底旋涂機(jī)


SPIN200x 高質(zhì)量基底旋涂機(jī)


設(shè)計(jì)

 

的外殼與排水設(shè)計(jì)便于在桌面式和內(nèi)置式機(jī)型之間切換。模塊化設(shè)計(jì)使用戶能通過(guò)多種不同配件升級(jí)設(shè)備,從而簡(jiǎn)化分配操作及整體處理流程。
 

液體過(guò)濾捕集器

 

SPINx 系列配備液體過(guò)濾捕集器,用于保護(hù)旋涂機(jī)的關(guān)鍵部件。它能將通過(guò)處理腔室或真空卡盤進(jìn)入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集到液體容器中。通過(guò)旋涂機(jī)外殼上的開口可查看該容器,便于維護(hù)。
 

自動(dòng)蓋子

 

蓋子可通過(guò)用戶界面或腳踏板(非常適合手套箱環(huán)境使用)自動(dòng)打開和關(guān)閉。此外,還能在工藝配方的最后一步自動(dòng)打開蓋子。
 

電機(jī)回零位置

 

新款 SPINx 系列能夠設(shè)定電機(jī)回零位置,便于集成到機(jī)器人控制 / 自動(dòng)化環(huán)境中。
 

硬件規(guī)格:

 

  • 液體過(guò)濾捕集器

  • 自動(dòng)蓋子(高級(jí)版還可通過(guò)腳踏板控制)

  • 可編程電機(jī)回零位置

  • 用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架

  • 用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器

  • 大尺寸(可拆卸)觸摸顯示屏

  • 用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新的 USB 端口

  • 驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格:間接式無(wú)刷驅(qū)動(dòng)單元,最高 12,000 轉(zhuǎn) / 分;高加速度與精度,1-30,000 轉(zhuǎn) / 分;順時(shí)針 / 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)及 puddle 模式;可在桌面式和內(nèi)置式機(jī)型之間切換的設(shè)計(jì)

 

適用工藝:

 

  • 涂層

  • 清潔

  • 漂洗 / 干燥

  • 顯影

  • 蝕刻

  • PDMI 及其他工藝



SPIN200x 高質(zhì)量基底旋涂機(jī)


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